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影響激光測厚精度因素有哪些


目前,有些用戶會使用到激光進行測厚,常常會詢問到‘影響激光測厚精度因素有哪些’。今天在這里,時代儀器小編將為大家一一解析,請大家往下關(guān)注。

做為使用激光位移傳感器組成測厚儀的使用者,再好的傳感器,如果使用不當,選型不當(如:無同步端激光位移傳感器就不能用),會使精度下降,甚至測量失敗。

激光三角漫反射位移傳感器用于測厚有明顯優(yōu)點:非常小的測量光斑,是點光斑面積,一般比面積型非接觸電容、電渦流傳感器需要的面積小很多,對被測體面積幾乎無要求,適合測量非常小面積尺寸厚度;較遠的測量范圍起始間距。它比非接觸電容、電渦流傳感器起始間距大很多,測量間距定制最大可以達到1000mm。這樣傳感器可以遠離被測體,免受碰壞,及被測體熱輻射影響;有很大的測量范圍,這是其它傳感器很難做到的;與被測體材料無關(guān),即金屬非金屬體,非透明有漫反射條件表面都能測。和其它傳感器測厚一樣,要實現(xiàn)精密測厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測不準。

所以,精密測厚,選精密激光位移傳感器很重要,但如果兩個傳感器不能同步工作,安裝不同軸,則根本測不準:

1、用單激光位移傳感器測厚
被測體放在測量平臺上,測量出傳感器到平臺表面距離,然后再測出傳感器到被測體表面間距,經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴格要求只有在離線情況能實現(xiàn)。

2、雙激光傳感器測厚
在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間距離,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離。

在線厚度測量用這種方法優(yōu)點是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。保證測量準確性的條件是:兩個傳感器發(fā)射光束必須同軸,以及兩個傳感器掃描必須同步。同軸是靠安裝實現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。

不同步將代來很大誤差:如果被測體存在振動頻率20HZ,振幅1mm,如果信號不同步延遲1ms,那么就會帶來125µm誤差。安裝使兩個激光同軸,不但確保被測體同一位置上的厚度,同時降低了被測體傾斜帶來的誤差。以被測體運動方向不同軸為例,當不同軸1mm,被測體傾斜2°可帶來35µm誤差。

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